张钰如，大连理工大学 物理学院教授（破格）、博士生导师，大连市高端人才，中国博士后基金特别资助获得者，大连理工大学星海骨干。参与开发并集成出国内首款具有自主知识产权的等离子体源多场耦合仿真平台MAPS，可以实现对多种等离子体源放电过程的模拟，获得多项国家发明专利、软件著作权及大连市科技进步一等奖。针对等离子体源中的热点问题开展研究，已在Appl. Catal. B, Plasma Sources Sci. Technol.及J. Phys. D: Appl. Phys.等国际核心期刊上发表论文60余篇（文章列表见“科学研究-论文成果”项），其中包含多篇JCR 一区文章，单篇论文最高影响因子24.319。作为项目负责人，先后主持国家自然科学基金面上项目等十余项（项目列表见“科学研究-科研项目”项）。与比利时安特卫普大学Bogaerts教授、德国波鸿鲁尔大学的Julian Schulze博士，以及国内相关半导体设备制造企业等，均保持密切的合作关系。

欢迎各位对等离子体模拟感兴趣的同学，联系我：yrzhang@dlut.edu.cn

个人简历

2021.12 - 至今    大连理工大学，物理学院，教授（破格）；

2017.12 - 2021.12  大连理工大学，物理学院，副教授;

2015.03 - 2016.08 比利时安特卫普大学，博士后；

2014.01 - 2017.12  大连理工大学，物理学院，讲师；

2013.04-2013.10 比利时安特卫普大学，化学系，双博士学位；

2009.09-2013.12 大连理工大学，等离子体物理专业，博士（直接攻博）；

2005.09-2009.07 大连理工大学，光信息科学与技术专业，学士；

科研项目

面向高深宽比刻蚀工艺的超低频容性耦合等离子体源的特性研究，国家自然科学基金面上项目（主持）

带有容性偏压的感性耦合放电的混合模拟方法及实验验证，国家自然科学基金面上项目（主持）

射频容性耦合等离子体放电中电非对称效应机理的研究，国家自然科学基金青年项目（主持）

等离子体增强化学气相沉积工艺过程的优化研究，辽宁省自然科学基金面上项目（主持）

甚高频放电中电非对称效应与电磁效应相互作用的研究，中国博士后基金特别资助（主持）

等离子体实验诊断与数值仿真技术服务合同，企业合作（主持）

等离子体仿真开发技术及其相关应用研究合同，企业合作（主持）

3DHTM等离子体仿真，企业合作（主持）

感应耦合等离子源仿真模拟合作研究，企业合作（主持）

面向工业等离子体源的一些关键科学问题的研究，国家自然科学基金重点项目（骨干）

CFETRN-NBI负离子源仿真优化设计及实验评估，国家重点研发计划（骨干）

大功率低压射频感性耦合负氢离子源的物理基础研究，ITER计划（骨干）

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2009.9 - 2014.1

大连理工大学   等离子体物理   博士

2005.9 - 2009.7

大连理工大学   光信息科学与技术   学士

2015.3 - 2016.8

比利时安特卫普大学   博士后

Plasma Sources Sci. Technol., Plasma Process. Polym., J. Phys. D: Appl. Phys., IEEE Trans. Plasma Sci. 等杂志审稿人

面向半导体芯片制造业中的工业等离子源的仿真模拟研究

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流体模型、流体/蒙卡混合模型、鞘层模型、整体模型、COMSOl软件等

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感性耦合等离子体特性的模拟研究

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容性耦合等离子体特性的模拟研究

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射频负氢离子源特性的模拟研究

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感性/容性耦合混合放电的模拟研究

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脉冲调制射频放电特性的模拟研究

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等离子体多场耦合快速仿真算法