王友年
开通时间:..
最后更新时间:..
点击次数:
负责人姓名:王友年
项目来源:国家科技部
项目状态:结题
项目来源单位:比利时安特威普大学
项目性质:纵向
项目批准号:2012DFG02150
立项时间:2012-06-01
计划完成时间:2014-06-01
开始日期:2012-06-01
上一条:射频感性耦合等离子体源仿真模拟
下一条:等离子体工艺腔室的多场耦合仿真