|
个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：女
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
电子邮箱：daizhl@dlut.edu.cn
扫描关注
CF_4/Ar混合气体放电特性的数值模拟
点击次数：
论文类型：会议论文
发表时间：2009-07-20
页面范围：1
关键字：放电特性;CF_4/Ar;等离子体放电;离子密度;容性耦合;射频源;离子能量;混合气体;数值模拟;混合模型;
摘要：文章通过建立一维和二维的混合模型,对CF_4/Ar混合气体的双频容性耦合等离子体放电进行了数值模拟。分析场分布,电子、离子密度分布,离子能量分布(IEDF)、角度分布(IADF),以及电子能量分布(EEDF)等随射频源和其它外界参数的变化规律,并