SONG Yuan-Hong

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Professor   Supervisor of Doctorate Candidates   Supervisor of Master's Candidates  

Profile


      宋远红,女,教授、博士生导师,应用物理学双一流拔尖、强基专业负责人。入选教育部“新世纪优秀人才支持计划”、辽宁省“百千万人才工程”百人层次人才,大连市领军人才。担任member of the Board of Directors (BoD) of the International Plasma Chemistry Society (IPCS)、Editorial board member of IOP SciNotes、中国力学学会第十一届理事会理事、中国力学学会等离子体科学与技术专业委员会主任委员 。多次在主流国际学术会议做大会报告、邀请报告,担任重要学术职务,并负责推荐国内外优秀学者做大会报告、邀请报告。


       多年从事低气压等离子体物理、尘埃等离子体物理和等离子体与物质相互作用等机理研究和计算机模拟工作,科研成果《离子束与物质相互作用的理论研究》获得辽宁省自然科学二等奖。先后主持国家自然科学基金国际合作重点和面上项目、国际热核聚变实验堆ITER专项项目、教育部新世纪优秀人才支持计划资助、中央高校基本科研业务费重大项目培育基金等多项科研项目,并负责多项企事业合作项目,与德国波鸿鲁尔大学、东京电子公司等保持长期紧密的国际合作关系。


         面向高端半导体芯片等离子体微纳加工处理技术,分别针对电负性、反应性气体容性耦合放电双射频源驱动、脉冲调制射频、裁剪波形电源驱动等做了系统研究,自主开发了一套多时空尺度、多物理场耦合的囊括外电路整体模型、流体模型、粒子模拟模型、表面刻蚀/沉积模块以及耦合电子、离子蒙特卡罗的混合模型模拟代码。在Physical Review A、Plasma Sources Science and Technology、Carbon 等国际权威学术期刊上发表SCI论文近百篇;出版著作2部,分别是“数学物理方法”(大连理工大学出版社,2014)和“电动力学”(科学出版社,2019);出版译著 “射频等离子体物理学”(科学出版社,2015年)。


Educational ExperienceMore>>

1999.9 2004.7

  • 大连理工大学
  • 等离子体物理
  • Doctoral Degree

1990.9 1993.4

  • 大连理工大学
  • 理论物理
  • Master's Degree

1986.9 1990.7

  • 大连理工大学
  • 应用物理学
  • Bachelor's Degree

Work ExperienceMore>>

2009.12 Now
  • 大连理工大学
  • 教授
2001.4 2009.12
  • 大连理工大学
  • 副教授
1995.8 2001.4
  • 大连理工大学
  • 讲师

Social Affiliations

Research FocusMore>>

  • 低温等离子体物理基础

  • 非对称射频容性耦合放电电子动力学及加热机理研究

  • 射频容性耦合反应性等离子体刻蚀仿真研究