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一种基于虚拟仪器的朗缪尔探针等离子体诊断方法

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First Author:Wenqi Lu

Disigner of the Invention:dengxinlv,刘佳宏,XU Jun,dongchuang

Affilication of Author(s):物理学院

Application Number:CN1988106

Authorization number:CN200610134481.0

Pre One:一种采用反应磁控溅射制备二氧化铪基铁电薄膜的方法

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