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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2014-07-25

Journal:真空

Included Journals:ISTIC

Volume:51

Issue:4

Page Number:53-57

ISSN No.:1002-0322

Key Words:氧分压;非晶SiO2薄膜;光学特性;红外光谱

Abstract:采用中频反应磁控溅射沉积非晶二氧化硅(a_SiO2)薄膜,用X射线衍射、原子力显微镜、傅里叶红外光谱等方法研究氧分压影响退火前、后的两种SiO2薄膜样品的微观结构、折射率和消光系数等特性的变化规律.结果显示:室温下,沉积速率随氧分压的增大而减小,有利于提高薄膜的光滑性和致密度;在不同氧分压下沉积的SiO2薄膜均为非晶态结构;氧分压为25％时,薄膜表面具有均匀、光滑、致密的性能特征;折射率和消光系数都依赖于氧分压,氧分压大于15％时,薄膜在600 nm处的折射率n约为1.45～1.47,消光系数低于10-4.这表明适当提高氧分压有利于获得光学性能较好的SiO2薄膜.傅里叶红外吸收光谱测试表明,随着氧分压的升高,Si-O-Si伸缩振动峰向高波数方向移动,较高氧分压下沉积的SiO2薄膜具有较高的化学结合能,且结构和性能更稳定.