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Profile
主要从事MEMS加工工艺方面的研究工作。主要研究方向包括:金属微器件的电化学加工、金属微器件UV-LIGA加工、微模具制造、PZT压电薄膜制备与应用等。作为项目负责人承担国家自然科学基金项目4项, 省部级项目2项,合作科研项目10余项;作为主要研究人员参加国家973计划项目、863项目、“十二五”科技支撑计划项目、国家自然科学基金重大、重点项目等多项。2011年入选“辽宁省新世纪百千万人才工程”百人层次。以第一作者/通讯作者发表学术论文150余篇,其中被SCI收录40余篇、被EI收录80余篇,以第一发明人授权发明专利17项。