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论文类型：期刊论文

发表时间：2012-01-28

发表刊物：太阳能学报

收录刊物：EI、PKU、ISTIC、CSCD、Scopus

卷号：33

期号：1

页面范围：68-72

ISSN号：0254-0096

关键字：磁控溅射;物理气相沉积;AlN薄膜;选择性吸收膜

摘要：采用磁控溅射方法,在高纯氩气和氮气混合气氛下成功制备出Al(W)-AlN系太阳能选择性吸收薄膜.借助吸收光谱分析,比较了Al、W两种反射层材料上制备单层AlN和多层AlN薄膜的光谱吸收特性.结果表明:多层AlN薄膜比单层AlN薄膜的吸收性能好；W比Al更适合做反射面材料,W-渐变型多层AlN膜系对太阳能的吸收率可达到80％以上.