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    余隽

    • 副教授     博士生导师   硕士生导师
    • 任职 : 仪器仪表学会传感器分会理事;中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会理事;IEEE会员
    • 性别:女
    • 毕业院校:大连理工大学
    • 学位:博士
    • 所在单位:生物医学工程学院
    • 学科:微电子学与固体电子学. 生物医学工程. 电路与系统
    • 电子邮箱:junyu@dlut.edu.cn

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    深亚微米标准CMOS工艺流程

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    资源介绍:介绍了深亚微米标准CMOS工艺流程,包括STI、LDD、铜互连等工艺流程。

    资源类型:课件

    资源发布时间:2016-11-05

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