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Indexed by:期刊论文
Date of Publication:2017-12-28
Journal:实验室科学
Volume:20
Issue:6
Page Number:10-12,15
ISSN No.:1672-4305
Key Words:光刻系统平台;集成电路技术;实验设计
Abstract:目前我国高校开展的光刻教学课程主要集中在加工原理方面,普遍缺乏配合理论知识学习的实际工艺操作实验.大连理工大学国家级示范性微电子学院自主设计、 搭建了光刻实验平台以满足学生学习实践的需要.介绍了光刻实验平台系统的设备模块构成以及知识体系,开展实验的前期准备、 课堂组织、 注意事项.此外,给出了部分结果,分析了课程实施的主要困难与解决方案.
