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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
主要任职：光电工程与仪器科学学院副院长
其他任职：Faculty director of Instrumentation Science
性别：男
毕业院校：日本富山大学
学位：博士
所在单位：光电工程与仪器科学学院
学科：微电子学与固体电子学. 测试计量技术及仪器
办公地点：研究生教育大楼 708
联系方式：chen_xm@dlut.edu.cn 0411-84706660
电子邮箱：chen_xm@dlut.edu.cn
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纳米工艺下金属互连缺陷控制的VLSI可制造性设计方法研究
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负责人姓名：陈晓明
项目来源：国家自然科学基金项目
项目子类：专项基金项目
项目状态：结题
项目来源单位：国家自然科学基金委员会
项目性质：纵向
项目批准号：61340050
立项时间：2013-09-25
计划完成时间：2014-12-31
开始日期：2014-01-01
结项日期：2014-12-31