Current position: Home >> Scientific Research >> Research Projects

化学机械抛光过程跨尺度多场耦合问题的建模与协同求解方法研究

Hits:

Leading Scientist:周平

Supported by:国家自然科学基金项目

Sub-Class of Project:面上项目

Status:结题

Supported by:国家自然科学基金委员会

Nature of Project:纵向

Project Approval Number:51475076

Date of Project Approval:2014-09-01

Scheduled completion time:2018-12-31

Date of Project Initiation:2015-01-01

Pre One:定转子屏蔽套结构稳定原理与形性创成规律

Next One:核主泵动静压密封环预变形平面研磨加工方法研究