标题：
氧源对氧化锌薄膜基本性质的影响
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论文类型：
会议论文
页面范围：
362-364
关键字：
氧化锌;MOCVD方法;氧源
摘要：
采用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)方法,分别以高纯O2和NO作为氧源,在c面蓝宝石衬底上生长ZnO薄膜。XRD测试结果显示,ZnO薄膜都为(0002)面单一取向;但相较于使用O2氧源,改用NO氧源后,ZnO薄膜的晶体质质量得到了提高.(0002)面衍射峰的半峰宽由0.201°减小到0.192°,晶粒平均尺寸则由40.2皿增大到42.8nm。SEM测试结果显示,采用NO作氧源时,ZnO薄膜内的晶粒间界明显消除。同时低温PL测试结果表明,由于晶体质量的提高,使得采用NO氧源生长出的ZnO薄膜的紫外发光效率显著增强。
发表时间：
2010-10-25
学位：博士
职称：副教授
学科：微电子学与固体电子学
所在单位：集成电路学院