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张钰如
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教授   博士生导师   硕士生导师

性别: 女

毕业院校: 大连理工大学

学位: 博士

所在单位: 物理学院

学科: 等离子体物理

办公地点: 大连理工大学 科技园大厦C座 519

电子邮箱: yrzhang@dlut.edu.cn

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PECVD非晶硅镀膜装备低气压射频等离子体数模研究

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负责人姓名: 宋远红

项目参与人员: 张莹莹,张钰如,王友年

项目来源: 企事业单位委托科技项目

项目状态: 结题

项目来源单位: 苏州迈为科技股份有限公司

项目性质: 横向

立项时间: 2021-03-17

计划完成时间: 2022-03-21

开始日期: 2021-03-22

结项日期: 2023-07-14

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