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张钰如
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教授   博士生导师   硕士生导师

性别: 女

毕业院校: 大连理工大学

学位: 博士

所在单位: 物理学院

学科: 等离子体物理

办公地点: 大连理工大学 科技园大厦C座 519

电子邮箱: yrzhang@dlut.edu.cn

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面向高深宽比刻蚀工艺的超低频容性耦合等离子体源的特性研究

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负责人姓名: 张钰如

项目来源: 国家自然科学基金项目

项目子类: 面上项目

项目状态: 在研

项目来源单位: 国家自然科学基金委员会

项目性质: 纵向

项目批准号: 12275041

立项时间: 2022-09-08

计划完成时间: 2026-12-31

开始日期: 2023-01-01

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