大连理工大学　 登录　 English　
张钰如
点赞：

教授   博士生导师   硕士生导师

性别： 女

毕业院校： 大连理工大学

学位： 博士

所在单位： 物理学院

学科： 等离子体物理

办公地点： 大连理工大学 科技园大厦C座 519

电子邮箱： yrzhang@dlut.edu.cn

手机版

访问量：

开通时间： ..

最后更新时间： ..

同专业博导 同专业硕导 个人学术主页
当前位置: 中文主页 >> 科学研究 >> 论文成果
Numerical investigation of low pressure inductively coupled plasma sources: A review

点击次数：

发表时间： 2022-10-07

发表刊物： ACTA PHYSICA SINICA

所属单位： 物理学院

卷号： 70

期号： 9

ISSN号： 1000-3290

关键字： "inductively coupled plasma; global model; fluid model; hybrid model; biased sheath model; particle-in-cell model"

辽ICP备05001357号 地址：中国·辽宁省大连市甘井子区凌工路2号 邮编：116024
版权所有：大连理工大学