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论文类型： 期刊论文

第一作者： 司立坤

合写作者： 马建伟,贾振元,刘鑫,王瑞利

发表时间： 2018-10-28

发表刊物： 实验室科学

卷号： 21

期号： 5

页面范围： 72-74,78

ISSN号： 1672-4305

关键字： 激光干涉仪;光束准直;测量

摘要： 激光干涉仪具有测量速度快、 测量精度高、 测量范围大、 分辨力高等优点.随着数控机床的广泛应用,使用激光干涉仪对数控机床进行定位精度检测,已经成为公认的检测方法.在检测的准备过程中,准直光路通常会占用较长的时间,介绍一种快速准直光路的测量技巧,通过综合规划三轴测量先后顺序,充分利用已经调好的光路准直条件,快速有效地调节有90°光路旋转轴的测量准直工作,节省了工作时间,提高了工作效率.