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论文类型：期刊论文

发表时间：2015-08-15

发表刊物：仪器仪表学报

收录刊物：EI、PKU、ISTIC、CSCD

卷号：36

期号：8

页面范围：1892-1900

ISSN号：0254-3087

关键字：MEMS动态特性测试;激波;底座激励;微悬臂梁;高温环境

摘要：为了能够在较高的温度环境中测试MEMS微结构的机械模态参数,本文提出了一种以高压电容空气放电为手段,以激波冲击为特征的底座激励方法.阐述了基于激波的底座冲击方法的原理和具体实现方式,并分析了放电电容、回路电阻、回路电感等参数与激振装置激励能力的关系.设计并研制了可应用在室温环境中的MEMS微结构动态测试装置,并在此基础上研制了高温环境微结构动态测试系统,系统中使用基于激波的底座冲击激励装置对微结构进行激励,采用激光多普勒测振仪获取微结构的振动响应信号.分别测试了两种尺寸的单晶硅微悬臂梁在室温～500℃温度环境下的动态特性,结果表明微悬梁的谐振频率随温度的升高而减小,并呈近似线性关系,与其他研究人员的研究结果有很好的一致性,验证了基于激波的底座冲击激励方法的可行性.