王晓东

个人信息Personal Information

教授

博士生导师

硕士生导师

性别:男

毕业院校:哈尔滨工业大学

学位:博士

所在单位:机械工程学院

学科:机械电子工程. 精密仪器及机械

电子邮箱:xdwang@dlut.edu.cn

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论文成果

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T型硅微悬臂梁频率温度系数的测试研究

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论文类型:期刊论文

发表时间:2015-07-15

发表刊物:仪器仪表学报

收录刊物:EI、PKU、ISTIC、CSCD

卷号:36

期号:7

页面范围:1470-1478

ISSN号:0254-3087

关键字:MEMS测试;T型微悬臂梁;高温环境;固有频率温度系数;底座激励

摘要:为了获得T型单晶硅微悬臂梁的固有频率温度系数,首先从理论上分析了T型微悬臂梁的固有频率随温度的变化规律,并建立了其固有频率的温度系数模型.随后搭建了带有高温环境加载功能的MEMS微结构动态特性测试系统,采用0FV534激光多普勒测振仪获取微结构的振动响应,采用基于压电陶瓷的底座激励方法实现对微结构的激励,在激励装置中采用了一个可动机构,解决了压电陶瓷在高温环境下使用的难题.最后,使用带有高温环境加载功能的MEMS微结构动态特性测试系统,测试了一种典型T型单晶硅微结构的动态特性,测试温度范围为室温~ 300℃,得到硅微悬臂梁的固有频率温度系数约为-2.71×10-5/℃,与理论分析的结果具有很好的一致性.