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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
主要任职：Head, Photonics Research Center,
其他任职：辽宁省先进光电子技术重点实验室 主任
性别：男
毕业院校：比利时根特大学
学位：博士
所在单位：光电工程与仪器科学学院
学科：光学工程. 测试计量技术及仪器. 通信与信息系统
办公地点：光仪学院厚望楼405
联系方式：Tel：0411 84706491
电子邮箱：mszhao@dlut.edu.cn
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微纳米压印成形技术制备聚合物光波导的初步尝试
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论文类型：会议论文
发表时间：2008-07-01
页面范围：162-166
关键字：聚合物 微纳米压印技术 表面粗糙 分辨率 光波导
摘要：在成功制备出一类具有低光学损耗、良好成膜特性和可热/光双固化的纯液态高性能聚合物光波导材料的基础上，对紫外微纳米压印成形技术制备聚合物集成光波导工艺进行了实验研究，采用光学显微镜和扫描电子显微镜对模具和压印波导进行了观测，结果表明制备的波导与模具上的图案能很好的吻合，同时具有很好的表面光洁度和与传统光刻工艺相比较小的表面粗糙度。对目前存在的问题进行了讨论分析并给出了进一步研究的建议。