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    高飞

    • 教授     博士生导师   硕士生导师
    • 主要任职:物理学院副院长
    • 性别:男
    • 毕业院校:大连理工大学
    • 学位:博士
    • 在职信息:在职
    • 所在单位:物理学院
    • 学科:等离子体物理
    • 办公地点:三束实验室4号楼
    • 电子邮箱:fgao@dlut.edu.cn

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    个人简介

    高飞,教授/博士生导师,物理学院副院长/三束材料改性教育部重点实验室副主任,主要从事射频等离子体物理过程及与材料相互作用的研究工作,是射频等离子体模拟和实验团队(PSEG,大连理工大学科技创新团队)的核心骨干成员。面向IC装备制造产业,采用实验诊断和数值仿真模拟的方法研究射频感应耦合等离子体刻蚀机、PECVD装备中的等离子体工艺腔室的放电机理。面向磁约束核聚变中性束注入系统中关键装备——大功率低气压射频感应耦合负氢离子源开展物理基础研究。作为负责人承担国家重点研发计划课题1项、国家自然科学基金面上项目2项、青年项目1项及其他纵向/横向课题若干项;并作为核心成员参与完成国家科技重大专项课题1项、ITER项目1项及国家自然科学基金重点项目等若干项。

    所在课题组网站:http://pseg.dlut.edu.cn



    研究方向

  • 射频感性耦合等离子体物理

  • 大功率负氢离子源物理

  • 离子束与等离子体相互作用

  • 高功率微波等离子体物理

  • 团队成员

    等离子体模拟与实验小组(PSEG)