刘军山

个人信息Personal Information

研究员

博士生导师

硕士生导师

性别:男

毕业院校:大连理工大学

学位:博士

所在单位:机械工程学院

学科:机械电子工程. 机械制造及其自动化

办公地点:机械工程学院知方楼6005室

联系方式:0411-84707713

电子邮箱:liujs@dlut.edu.cn

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论文成果

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集成Pt电极电化学微流控芯片制作工艺研究

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论文类型:会议论文

发表时间:2005-08-13

卷号:Vol.16

页面范围:94-95

关键字:电化学;微流控芯片;剥离工艺;集成Pt电极

摘要:  本文研究了一种集成Pt电极的安培型电化学微流控芯片的制备方法.在清洗后的SODA-LIME玻璃上涂敷正性光刻胶光刻,显影后开窗于微电极图形部分,利用射频溅射台溅射Pt后,采用剥离的方法得到Pt微电极.在另一玻璃基片上采用湿法腐蚀的方法得到微通道.微电极与微通道出口的对准工艺在自行研制的立体显微镜下完成,对准后的芯片在马弗妒中热键合,获得集成Pt电极的玻璃电化学微流控芯片.