刘军山

个人信息Personal Information

研究员

博士生导师

硕士生导师

性别:男

毕业院校:大连理工大学

学位:博士

所在单位:机械工程学院

学科:机械电子工程. 机械制造及其自动化

办公地点:机械工程学院知方楼6005室

联系方式:0411-84707713

电子邮箱:liujs@dlut.edu.cn

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论文成果

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一种玻璃微流控芯片的实用制作工艺研究

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论文类型:期刊论文

发表时间:2006-12-20

发表刊物:分析科学学报

收录刊物:ISTIC、CSCD

卷号:22

期号:6

页面范围:671-674

ISSN号:1006-6144

关键字:玻璃微流控芯片;湿法刻蚀;热键合

摘要:本文提出了一种在商品化的SG4009玻璃上制作50×50 mm微流控芯片的方法.SG4009玻璃表面有厚度570 nm的光刻胶S-1085和厚度145 nm的Cr层组成的掩蔽层,省去制作掩蔽层的时间和设备,降低了生产成本,缩短了生产周期.对芯片制作过程中的一些问题进行分析研究,提出相应的解决方案,保证了芯片的制作质量.