|
个人信息Personal Information
副教授
硕士生导师
性别：男
毕业院校：东京工业大学
学位：博士
所在单位：物理学院
办公地点：三束实验室2号楼203
联系方式：0411-84708380:8203
电子邮箱：luwenqi@dlut.edu.cn
扫描关注
面向刻蚀工艺的脉冲调制射频感应耦合等离子体源的特性研究
点击次数：
负责人姓名：高飞
项目参与人员：张钰如,陆文琪
项目来源：国家自然科学基金项目
项目子类：面上项目
项目状态：结题
项目来源单位：国家自然科学基金委员会
项目性质：纵向
项目批准号：11675039
立项时间：2016-08-17
计划完成时间：2020-12-31
开始日期：2017-01-01