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个人信息Personal Information
工程师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：硕士
所在单位：集成电路学院
电子邮箱：lyang@dlut.edu.cn
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一种用于高质量氧化物半导体材料制备的MOCVD加热盘
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第一作者：柳阳
发明设计人：梁红伟,夏晓川,申人升,陈远鹏
所属单位：微电子学院
申请号：CN107083541A
授权号：CN201710261163.9