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论文类型：会议论文

发表时间：2012-09-13

页面范围：170-173

关键字：润湿性;DLC膜;仿生形貌;磁控溅射复合沉积

摘要：　　通过磁控溅射复合沉积方法在钛合金基体上制备了不同表面能和粗糙度的薄膜.主要研究了元素掺杂的DLC薄膜和具有仿生表面形貌的Cu膜.通过接触角测试和相应表面能计算研究了这些薄膜的润湿性能.通过XPS表征了掺杂DLC薄膜的化学键结构，通过AFM和SEM表征了Cu膜表面形貌.结果表明DLC膜中的元素掺杂减小了表面能，增强了薄膜的疏水性能，尤其是F元素的掺杂.由于F元素的掺杂使得DLC膜的接触角从65°增加到159°.材料表面形貌在其润湿性能上起着重要作用，通过仿生形貌制造，沉积到Al2O3的Cu膜水接触角从89°增加到141.7°.