副教授 硕士生导师
性别: 男
毕业院校: 大连理工大学
学位: 博士
所在单位: 材料科学与工程学院
学科: 材料学
电子邮箱: fuminxu@dlut.edu.cn
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论文类型: 期刊论文
发表时间: 2011-01-01
发表刊物: 机械工程材料
收录刊物: PKU、ISTIC、CSCD
卷号: 35
期号: 3
页面范围: 52
ISSN号: 1000-3738
关键字: 定向凝固; 多晶硅; 分凝效应; 电阻率
摘要: 以1101工业硅为原料, 采用真空感应熔炼加定向凝固提纯方法制备了多晶硅铸锭,
通过电感耦合等离子体发射光谱仪、扫描电镜、四探针电阻率仪、导电类型测试仪等对其化学成分、组织、电阻率及导电类型等进行了分析. 结果表明:
多晶硅锭中约50%的区域纯度达到99.99%, 其中铁、铜、镍等金属杂质去除率均在90%以上; 分凝效应使得杂质元素重新分布,
导致粗大柱状晶在铸锭54%高度处停止生长, 此时其成分及电阻率发生突变, 导电类型也由P型转变为N型