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个人信息Personal Information
副教授
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
电子邮箱：muz@dlut.edu.cn
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Studies of the composition and properties of silicon nitride thin films deposited by mid-frequency dual-target unbalanced magnetron sputtering
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论文类型：期刊论文
发表时间：2011-01-01
发表刊物：材料科学与工程学报
收录刊物：PKU、ISTIC