大连理工大学  登录  English 
刘永新
点赞:

教授   博士生导师   硕士生导师

性别: 男

毕业院校: 大连理工大学

学位: 博士

所在单位: 物理学院

学科: 等离子体物理

办公地点: 大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室3号楼201室

电子邮箱: yxliu129@dlut.edu.cn

手机版

访问量:

开通时间: ..

最后更新时间: ..

当前位置: Yong >> 科学研究 >> 科研项目
脉冲调制等离子体增强原子层刻蚀多尺度研究

点击次数:

负责人姓名: 戴忠玲

项目参与人员: 贾莉,刘永新

项目来源: 国家自然科学基金项目

项目子类: 面上项目

项目状态: 结题

项目来源单位: 国家自然科学基金委员会

项目性质: 纵向

项目批准号: 11375040

立项时间: 2013-09-25

计划完成时间: 2017-12-31

开始日期: 2014-01-01

结项日期: 2017-12-31

辽ICP备05001357号 地址:中国·辽宁省大连市甘井子区凌工路2号 邮编:116024
版权所有:大连理工大学