丁振峰

个人信息Personal Information

教授

博士生导师

硕士生导师

性别:男

出生日期:1964-08-12

毕业院校:中科院等离子体物理研究所

学位:博士

在职信息:在职

所在单位:物理学院

学科:等离子体物理

办公地点:新三束实验室3号楼204室

联系方式:13998689619

电子邮箱:zfding@dlut.edu.cn

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个人简介Personal Profile

       丁振峰,男,生于1964年,物理学博士,大连理工大学教授,博士生导师。

   先后从事高温、低温等离子体物理与应用研究,涉及直流、射频、甚高频、微波以及电子微波电子回旋等离子体,在等离子体电磁诊断、等离子体源研究方面取得了一系列创新性研究成果。与国内大型等离子体高科技公司长期保持密切联系,分析、解决等离子体物理、技术、工艺问题,所培养的研究生在公司求职中具有竞争力。先后主持、参加了973、863、国家自然科学重大基金、重点基金、面上基金、国防预研等20余项课题。主持了国内第一台深亚微米等离子体刻蚀机的物理研究,近年来从事小卫星等离子体电推进、大气压脉冲调制射频活性气体放电均匀化、电磁发射、高性能复合纤维材料等离子体表面改性、发光二极管等离子体封装清洗机的研究工作。发表科研文章100余篇,申请国家发明专利7项。获中国科学院科技进步二等奖一项,辽宁省科技发明一等奖一项,大连市科技技术奖励一等奖一项。


研究方向1:低气压感性射频等离子体

       低气压感性耦合射频等离子体是一种重要的等离子体,已广泛应用于半导体集成电路芯片多晶硅、蓝光LED氮化镓 、微电机系统(MEMS)的等离子体刻蚀,功能薄膜沉积,先进封装等领域。本课题组在院内最早从事低气压感性耦合射频等离子体研究,在多年深入研究的基础上,对包括低气压感性耦合射频等离子体在内的射频等离子体物理、技术有了深刻、广泛的理解。

主要关注方向:(1)与射频等离子体相关的电磁测量新方法、抗干扰研究;(2)新型天线设计、天线电磁效应;(3)射频等离子体放电模式特性与调控;(4)应用于集成电路、LED加工,微小卫星电推进的射频等离子体技术。


研究方向2: 大气压射频等离子体

      与低气压放电相比,大气压放电具有以下优势:无需真空抽气系统,适于敞开环境的等离子体加工,也便于在线连续的等离子体加工。射频大气压放电的击穿低,适于产生高密度均匀等离子体,在纳米材料生产、功能材料表面改性、生物和医学临床等离子体治疗等领域得到了应用。在低气压感性耦合射频等离子体研究的基础上,本课题组开展脉冲调制射频大气压放电研究,以期获得高密度、低气体温升、均匀的大气压等离子体技术。

主要关注方向:(1)脉冲调制射频击穿特性、暂态过程;(2)射频斑图簇结构、集体运动时空演化;(3)放电不对称性,共振谐波等非线性;(4)载频、介质材料、表面结构与对放电模式的影响;(5)脉冲调制电磁测量技术、脉冲调制台阶跃迁过程的高速摄影研究;(6)活性气体放电均匀性的控制方法以及应用。


 研究方向3:微波电子回旋等离子体

       微波电子回旋放电技术将磁场对带电粒子的约束以及微波电子回旋共振对电子的有效加热进行了有机的结合,微波电子回旋等离子体因此具有击穿气压/功率低、高密度、无内电极(电极损耗小)等优点。在阻抗匹配上,微波段的匹配器尺寸小,这些优点使得微波电子回旋共振等离子体在微小卫星电推进方面具有竞争优势。

主要关注方向:(1)新型天线设计;(2)新型磁约束、电子回旋共振场的优化设计;(3)表面吸附层二次电子发射效应;(4)与加热模式、空心阴极相关的放电模式跳变;(5)离子引出栅的离子增强场发射型击穿,计算-实验迭代交叉优化、基于电荷交换的中性气体密度计算;(6)放电均匀性控制方法;(7)新型电子回旋等离子体电子中和器优化设计、实验研究。

  


 

  • 教育经历Education Background
  • 工作经历Work Experience
  • 研究方向Research Focus
  • 社会兼职Social Affiliations
  • 研究方向1:低气压感性射频等离子体 低气压感性耦合射频等离子体是一种重要的等离子体,已广泛应用于半导体集成电路芯片多晶硅、蓝光LED氮化镓 、微电机系统(MEMS)的等离子体刻蚀,功能薄膜沉积,先进封装等领域。本课题组在院内最早从事低气压感性耦合射频等离子体研究,在多年深入研究的基础上,对包括低气压感性耦合射频等离子体在内的射频等离子体物理、技术有了深刻、广泛的理解。 主要关注方向:(1)与射频等离子体相关的电磁测量新方法、抗干扰研究;(2)新型天线设计、天线电磁效应;(3)射频等离子体放电模式特性与调控;(4)应用于集成电路、LED加工,微小卫星电推进的射频等离子体技术。 研究方向2: 大气压射频等离子体 与低气压放电相比,大气压放电具有以下优势:无需真空抽气系统,适于敞开环境的等离子体加工,也便于在线连续的等离子体加工。射频大气压放电的击穿低,适于产生高密度均匀等离子体,在纳米材料生产、功能材料表面改性、生物和医学临床等离子体治疗等领域得到了应用。在低气压感性耦合射频等离子体研究的基础上,本课题组开展脉冲调制射频大气压放电研究,以期获得高密度、低气体温升、均匀的大气压等离子体技术。 主要关注方向:(1)脉冲调制射频击穿特性、暂态过程;(2)射频斑图簇结构、集体运动时空演化;(3)放电不对称性,共振谐波等非线性;(4)载频、介质材料、表面结构与对放电模式的影响;(5)脉冲调制电磁测量技术、脉冲调制台阶跃迁过程的高速摄影研究;(6)活性气体放电均匀性的控制方法以及应用。 研究方向3:微波电子回旋等离子体 微波电子回旋放电技术将磁场对带电粒子的约束以及微波电子回旋共振对电子的有效加热进行了有机的结合,微波电子回旋等离子体因此具有击穿气压/功率低、高密度、无内电极(电极损耗小)等优点。在阻抗匹配上,微波段的匹配器尺寸小,这些优点使得微波电子回旋共振等离子体在微小卫星电推进方面具有竞争优势。 主要关注方向:(1)新型天线设计;(2)新型磁约束、电子回旋共振场的优化设计;(3)表面吸附层二次电子发射效应;(4)与加热模式、空心阴极相关的放电模式跳变;(5)离子引出栅的离子增强场发射型击穿,计算-实验迭代交叉优化、基于电荷交换的中性气体密度计算;(6)放电均匀性控制方法;(7)新型电子回旋等离子体电子中和器优化设计、实验研究。