邹赫麟

个人信息Personal Information

教授

博士生导师

硕士生导师

性别:男

毕业院校:威尔大学

学位:博士

所在单位:机械工程学院

学科:微机电工程

办公地点:机械工程学院2号楼214-2

联系方式:办公电话:0411-84709754

电子邮箱:zouhl@dlut.edu.cn

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研究领域

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微/纳机电系统(MEMS),微纳加工技术,半导体材料、器件与集成电路,光学仪器与测试计量技术。 

主要研究内容:①跨尺度微纳器件设计理论与制造技术;②微压电喷墨打印技术;③电液动力微纳直写打印技术;④微纳流控生物芯片设计与制造。