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论文类型：期刊论文

发表时间：2008-08-15

发表刊物：压电与声光

收录刊物：PKU、ISTIC、CSCD、Scopus

卷号：30

期号：4

页面范围：492-494

ISSN号：1004-2474

关键字：PZT压电薄膜;无阀微泵;PDMS泵膜;收缩管/扩张管

摘要：介绍了一种基于PZT薄膜的无阀压电微泵.该微泵利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜,自制的压电圆型薄膜片作为驱动部件,采用收缩管/扩张管结构,压电圆型致动片和PDMS泵膜的组合可产生较大的泵腔体积改变.在对微泵制备工艺研究的基础上,对其性能进行了实验研究,结果表明:电压和频率对流速均有显著影响.在7.5 V、180 Hz的正弦电压驱动下,该压电微泵的最大输出流速为2.05 μL/min.该文制作的微泵具有流量稳定,驱动电压较低,性能稳定可靠和易控制等优点,可满足微流体系统的使用要求.