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论文类型：期刊论文

发表时间：2008-04-15

发表刊物：机械工程学报

收录刊物：EI、PKU、ISTIC、CSCD

卷号：44

期号：4

页面范围：159-164,170

ISSN号：0577-6686

关键字：微动工作台;压电执行器;自感知;积分器;复合控制

摘要：使用自感知方法测量压电微动工作台的位移,省去独立传感器,构成位移自感知控制系统.压电陶瓷执行器晶片上的自由电荷中包含执行器的位移信息,据此提出基于积分器的压电执行器位移自感知方法,并设计了获取执行器晶片上自由电荷的积分器电路.该方法使得自感知电路的调节和感知信号的获取变得容易,可克服电桥法自感知电路阻抗不易匹配的不足.将该位移自感知方法作为压电微动工作台控制系统的反馈方式,并为提高工作台的动静态性能,构造一种前馈补偿同反馈调节相结合的复合控制算法,实现了自感知复合控制.试验验证了自感知复合控制的有效性,并将该控制方法同其他控制方法--前馈控制、独立传感器常规PID反馈控制、独立传感器复合控制进行了对比试验研究,结果表明自感知复合控制具有独立传感器复合控制的良好性能.