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论文成果
制备介电体薄膜用MOCVD材料
点击次数：
论文类型：
期刊论文
发表时间：
1994-09-25
发表刊物：
化工新型材料
收录刊物：
PKU
文献类型：
J
期号：
09
页面范围：
23-24
ISSN号：
10063536
关键字：
介电体;大连理工大学;大连工学院;MOCVD;
摘要：
制备介电体薄膜用ＭＯＣＶＤ材料阎圣刚，高占先，周科衍（大连理工大学，化工学院，大连１１６０１２）１．前言具有钙钛矿结构的ＢａＴｉＯ＿３、ＰｂＴｉＯ＿３、ＰＺＴ及ＬｉＮｂＯ＿３是很有价值的介电材料，近年来在电子学领域的应用发展迅速。强的介电体具有绝缘性...
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