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陈永英

Senior Engineer


Gender:Male
Alma Mater:大连理工大学
Degree:Master's Degree
School/Department:化工学院
E-Mail:chenyy@dlut.edu.cn
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溶胶-凝胶法制备SiO2膜的研究

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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:1995-01-01

Journal:硅酸盐学报

Included Journals:PKU、CSCD

Volume:23

Issue:1

Page Number:73

ISSN No.:0454-5648

Key Words:SiO2膜; 溶胶-凝胶法; 孔径; 渗透

Abstract:研究了正硅酸乙酯(TEOS)和硅溶胶水解聚合过程中溶胶聚合物分子的生长过程。用TEOS和硅溶胶作原料,用溶胶-凝胶法制备了有载体和无载体的SiO_2膜。由不同原料引起的聚合物分子的不同生长模式将引起无载体SiO_2膜孔径的较大差异。用TEOS制得的无载体SiO_2膜无1.7nm以上的孔,而用硅溶胶制得的SiO_2膜平均孔径为7.5nm,且孔径分布狭窄。用TEOS作原料可在载体α-Al_2O_3上制得无大孔缺陷厚约0.8μm的SiO_2膜,膜的纯氮气渗透表现出Knudsen扩散特征。制膜时涂膜-干燥循环不少于三次才可避免产生大孔缺陷。