MEMS的微冷却技术及喷雾冷却过程强化
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Indexed by: Journal Article
Date of Publication: 2014-12-26
Journal: 干燥技术与设备
Issue: 06
Page Number: 11-19
ISSN: 1727-3080
Key Words: 微机电系统;微冷却技术;喷雾冷却;强化
Abstract: 本文对微机电系统(MEMS)的微通道冷却、微射流冲击冷却、微喷雾冷却、微热管冷却及半导体冷却技术的研究现状进行综述,并探讨了喷雾冷却的影响因素、传热机制及过程强化问题。