MEMS的微冷却技术及喷雾冷却过程强化
点击次数:
论文类型:期刊论文
发表时间:2014-12-26
发表刊物:干燥技术与设备
期号:06
页面范围:11-19
ISSN号:1727-3080
关键字:微机电系统;微冷却技术;喷雾冷却;强化
摘要:本文对微机电系统(MEMS)的微通道冷却、微射流冲击冷却、微喷雾冷却、微热管冷却及半导体冷却技术的研究现状进行综述,并探讨了喷雾冷却的影响因素、传热机制及过程强化问题。
点击次数:
论文类型:期刊论文
发表时间:2014-12-26
发表刊物:干燥技术与设备
期号:06
页面范围:11-19
ISSN号:1727-3080
关键字:微机电系统;微冷却技术;喷雾冷却;强化
摘要:本文对微机电系统(MEMS)的微通道冷却、微射流冲击冷却、微喷雾冷却、微热管冷却及半导体冷却技术的研究现状进行综述,并探讨了喷雾冷却的影响因素、传热机制及过程强化问题。