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Indexed by:期刊论文
Date of Publication:2001-04-25
Journal:光电子.激光
Included Journals:Scopus、EI、PKU、CSCD
Volume:12
Issue:4
Page Number:351-353
ISSN No.:1005-0086
Key Words:光子扫描隧道显微镜(PSTM);Al2O3光波导薄膜;散射损耗
Abstract:利用光子扫描隧道显微镜(PSTM)检测研究Al2O3光波导薄膜及其制备工艺。分析了不同温度条件下采用离子束增强沉积工艺制备的Al2O3光波导薄膜PSTM图像。结果表明：适当的增加基片的温度可以减小散射损耗，改善Al2O3光波导薄膜的性能。
