Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2001-04-25

Journal: 光电子.激光

Included Journals: CSCD、PKU、EI、Scopus

Volume: 12

Issue: 4

Page Number: 351-353

ISSN: 1005-0086

Key Words: 光子扫描隧道显微镜(PSTM);Al2O3光波导薄膜;散射损耗

Abstract: 利用光子扫描隧道显微镜(PSTM)检测研究Al2O3光波导薄膜及其制备工艺。分析了不同温度条件下采用离子束增强沉积工艺制备的Al2O3光波导薄膜PSTM图像。结果表明：适当的增加基片的温度可以减小散射损耗，改善Al2O3光波导薄膜的性能。