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Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 2009-04-15

Journal: 电子显微学报

Included Journals: CSCD、ISTIC、PKU

Volume: 28

Issue: 2

Page Number: 122-126

ISSN: 1000-6281

Key Words: 近场光学;纳米小孔;时域有限差分法;场增强

Abstract: 采用时域有限差分法对L形和V形纳米小孔进行优化设计.结果表明,两种小孔的出射峰值光强均比具有相同开孔面积的方孔提高了两个数量级.发现在具有相近峰值光强的情况下,且在距离出射面小于60nm的范围内,V形孔光斑尺寸在x方向和y方向的宽度可以比L形孔的光斑小10～15nm.本文对优化设计L形和V形小孔在纳米显微、光存储、光刻、光学操作等近场光学应用领域方面,具有一定的指导意义.