Release Time:2019-03-10  Hits:

Indexed by: Conference Paper

Date of Publication: 1998-05-01

Volume: Vol.18

Page Number: 3

Key Words: PZT;电滞曲线;迈氏干涉仪;成像误差

Abstract: 本文利用迈氏干涉法测量压电陶瓷扫描头(PZT)的电滞曲线和灵敏度因子。作出了 PZT 的电滞曲线,得到了灵敏度因子,测出了由电滞特性造成的扫描头不同电压正负回零偏差,讨论了 PZT 的电滞特性对样品形貌图像的影响及减小误差的方法。