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Indexed by:会议论文
Date of Publication:1998-05-01
Volume:Vol.18
Page Number:3
Key Words:PZT;电滞曲线;迈氏干涉仪;成像误差
Abstract:本文利用迈氏干涉法测量压电陶瓷扫描头(PZT)的电滞曲线和灵敏度因子。作出了 PZT 的电滞曲线,得到了灵敏度因子,测出了由电滞特性造成的扫描头不同电压正负回零偏差,讨论了 PZT 的电滞特性对样品形貌图像的影响及减小误差的方法。
Pre One:PSTM 四层介质理论探测场的数值模拟
Next One:PSTM等强度扫描方式下减小假象的数值模拟
