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Indexed by:期刊论文
Date of Publication:2007-06-15
Journal:电子显微学报
Included Journals:ISTIC、CSCD
Volume:26
Issue:3
Page Number:195-198
ISSN No.:1000-6281
Key Words:FDTD;纳米结构薄膜;数值模拟;光子扫描隧道显微镜
Abstract:利用时域有限差分法(finite difference time domain,FDTD),对镀纳米结构薄膜光纤探针的成像特性进行数值模拟.讨论了探针尖端纳米颗粒以及薄膜中粒间距对探针分辨率和灵敏度的影响.结果发现,镀膜中颗粒分散且针尖端20 nm内有一个纳米颗粒时,分辨率可以提高数十纳米,灵敏度提高数十倍.
