PSTM用于Al2O3光波导薄膜的研究
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论文类型：期刊论文
发表时间：2001-04-25
发表刊物：光电子.激光
收录刊物：CSCD、PKU、EI、Scopus
卷号：12
期号：4
页面范围：351-353
ISSN号：1005-0086
关键字：光子扫描隧道显微镜(PSTM);Al2O3光波导薄膜;散射损耗
摘要：利用光子扫描隧道显微镜(PSTM)检测研究Al2O3光波导薄膜及其制备工艺。分析了不同温度条件下采用离子束增强沉积工艺制备的Al2O3光波导薄膜PSTM图像。结果表明：适当的增加基片的温度可以减小散射损耗，改善Al2O3光波导薄膜的性能。