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论文类型：期刊论文

发表时间：2006-12-30

发表刊物：电子显微学报

收录刊物：ISTIC、CSCD

卷号：25

期号：6

页面范围：494-497

ISSN号：1000-6281

关键字：光纤探针;热拉伸;化学腐蚀;原子力显微镜;光子扫描隧道显微镜

摘要：探针是所有扫描探针显微镜的关键部件.本文提出了一种采用普通单模光纤制作在原子力和光子扫描隧道组合显微镜(AF/PSTM)上使用的弯曲光纤探针的方法.通过合理的选择实验参数,经过热拉伸与化学腐蚀两个过程,得到弯曲部分的角度为110°～120°、锥角约60°～80°的弯曲光纤探针.经扫描电镜观察,光纤探针的尖端直径小于100 nm.此种方法加工光纤探针的成品率约70%左右.