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论文类型：期刊论文

发表时间：2000-08-25

发表刊物：中国图象图形学报

收录刊物：PKU、CSCD

卷号：5

期号：8

页面范围：625-631

ISSN号：1006-8961

关键字：近场光学 扫描近场光学显微镜 散射-扫描近场光学显微镜 光子扫描 隧道显微镜

摘要：介绍了纳米分辨近场光学显微成象技术现状.近场光学显微成象技术大体可分为小孔扫描近场光学显微镜(A-SNOM)、无孔径尖散射扫描近场光学显微镜(S -SNOM)和光子扫描隧道显微镜(PSTM)三种基本类型.除介绍这三类近场光学显微镜简要成象原理、现状和各自特点外,还重点介绍了大连理工大学纳米成象技术研究组PSTM的研究进展,即PSTM消假象数值模拟和实验研究结果,其实验空间分辨首次达到2.8nm线扩展函数半高宽的水平.