潘石

个人信息Personal Information

教授

博士生导师

硕士生导师

性别:男

毕业院校:比利时布鲁塞尔自由大学

学位:博士

所在单位:物理学院

电子邮箱:span@dlut.edu.cn

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论文成果

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PZT电滞曲线和回零偏差的测量及其对扫描成像的影响

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论文类型:期刊论文

发表时间:1999-02-25

发表刊物:电子显微学报

收录刊物:CSCD

期号:1

页面范围:129-131

ISSN号:1000-6281

关键字:PZT;电滞曲线;迈氏干涉仪;成像误差

摘要:本文利用迈氏干涉法测量压电陶瓷扫描头(PZT)的电滞曲线和灵敏度因子.作出了PZT的电滞曲线,得到了灵敏度因子,测出了由电滞特性造成的扫描头不同电压正负回零偏差,讨论了PZT的电滞特性对样品形貌图像的影响及减小误差的方法.