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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别:男
毕业院校:比利时布鲁塞尔自由大学
学位:博士
所在单位:物理学院
电子邮箱:span@dlut.edu.cn
扫描关注
PZT电滞曲线和回零偏差的测量及其对扫描成像的影响
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论文类型:期刊论文
发表时间:1999-02-25
发表刊物:电子显微学报
收录刊物:CSCD
期号:1
页面范围:129-131
ISSN号:1000-6281
关键字:PZT;电滞曲线;迈氏干涉仪;成像误差
摘要:本文利用迈氏干涉法测量压电陶瓷扫描头(PZT)的电滞曲线和灵敏度因子.作出了PZT的电滞曲线,得到了灵敏度因子,测出了由电滞特性造成的扫描头不同电压正负回零偏差,讨论了PZT的电滞特性对样品形貌图像的影响及减小误差的方法.