PZT电滞曲线和回零偏差的测量及其对扫描成像的影响
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论文类型：期刊论文
发表时间：1999-02-25
发表刊物：电子显微学报
收录刊物：CSCD
期号：1
页面范围：129-131
ISSN号：1000-6281
关键字：PZT;电滞曲线;迈氏干涉仪;成像误差
摘要：本文利用迈氏干涉法测量压电陶瓷扫描头(PZT)的电滞曲线和灵敏度因子.作出了PZT的电滞曲线,得到了灵敏度因子,测出了由电滞特性造成的扫描头不同电压正负回零偏差,讨论了PZT的电滞特性对样品形貌图像的影响及减小误差的方法.