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论文类型：会议论文

发表时间：2006-08-21

页面范围：316-319

关键字：CdxZn1-xO薄膜;磁控溅射;能带调节;结晶特性;光学性能

摘要：本文采用射频反应磁控溅射方法,在Si(100)上制备了不同Cd含量的CdxZn1-xO的薄膜.利用电子探针(EPMA)、原子力显微镜(AFM)和X射线衍射(XRD)对薄膜的成分、表面形貌和晶体结构进行系统表征.结果表明:CdxZn1-xO(0≤x≤0.179)薄膜具有c轴择优取向,随着Cd含量增加,薄膜半峰宽(FWHM)变大,表面粗糙度增加,当x=0.108时出现相分离.透射光谱测试表明,通过调节Cd含量实现了对CdxZn1-xO的薄膜能带的调节.