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纳秒脉冲等离子体射流的产生及其特征研究

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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2010-06-15

Journal:核聚变与等离子体物理

Included Journals:Scopus、PKU、ISTIC、CSCD

Volume:30

Issue:2

Page Number:173-177

ISSN No.:0254-6086

Key Words:纳秒脉冲;等离子体射流;发射光谱诊断;非平衡态等离子体

Abstract:利用纳秒脉冲放电在单针、环状、以及单针加环状三种不同电极结构下产生了均匀稳定的等离子体射流;通过光学和电学诊断研究了三种不同结构下等离子体射流的运行特性及相应的物理机制.实验结果表明,以上三种等离子体射流的转动温度均为295K,振动温度分别为1900K,2000K和2100K,都属于非平衡态等离子体;其中,基于单针和环状电极的混合型射流可产生更为均匀稳定的等离子体,且富含较多的活性物种,有望在材料表面处理及消毒灭菌等领域发挥一定作用.

Pre One:Non-Uniformity of Ion Implantation in Direct-Current Plasma Immersion Ion Implantation

Next One:Development of an atmospheric-pressure homogeneous and cold Ar/O-2 plasma source operating in glow discharge