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Indexed by:会议论文
Date of Publication:2013-08-15
Page Number:112-112
Key Words:等离子体射流;等离子体流;放电特性;二维模拟;表面改性;传播过程;碰撞电离;潘宁电离;薄膜沉积;气体放电;
Abstract:引言近年来,大气压冷等离子体射流由于其独特的物理优势而被广泛应用于薄膜沉积、表面改性、皮肤处理、伤口感染等各个领域。全面了解其放电机理及其放电特性一直以来都是人们研究一大热点。本文采用二维等离子体流体模型数值模拟了大气压氦气冷等离子体射流在环境空气中的传播过程
