Release Time:2019-03-11  Hits:

Indexed by: Journal Article

Date of Publication: 1991-01-01

Journal: 大连理工大学学报

Included Journals: CSCD

Volume: 31

Issue: 4

Page Number: 389

ISSN: 1000-8608

Key Words: 高频放电; 气体放电; 能量分布; 氩

Abstract: 由数值求解均匀的波尔兹曼方程，计算出在高频均匀的电场下氩放电中电子的能 量分布。计算适合于从低电子密度到足够高电子密度的广大区域。电场与气体密度的 比值在范围 １０~(－１６)Ｖcm＜Ｅ／Ｎ＜１０~(－１５)Ｖcm2．研究了在不同频率的高频电场下,电 子－电子碰撞对电子能量分布的影响。