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Indexed by:期刊论文
Date of Publication:1991-01-01
Journal:大连理工大学学报
Included Journals:CSCD
Volume:31
Issue:4
Page Number:389
ISSN No.:1000-8608
Key Words:高频放电; 气体放电; 能量分布; 氩
Abstract:由数值求解均匀的波尔兹曼方程，计算出在高频均匀的电场下氩放电中电子的能 量分布。计算适合于从低电子密度到足够高电子密度的广大区域。电场与气体密度的 比值在范围 １０~(－１６)Ｖcm＜Ｅ／Ｎ＜１０~(－１５)Ｖcm2．研究了在不同频率的高频电场下,电 子－电子碰撞对电子能量分布的影响。
