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基于光机械多探针原理的广域薄膜表面形貌测量方法研究

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Leading Scientist:刘淑杰

Affiliation of Participant(s):大连理工大学

Project Participants:zhangyuanliang

Supported by:国家自然科学基金项目

Project level:国家级

Status:已结题

Supported by:国家自然科学基金委员会

Project Approval Number:51205043

Date of Project Approval:2019-03-25

Scheduled completion time:2019-03-25

Date of Project Initiation:2013-01-01

Date of Project Completion:2015-12-31

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